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ZSi - Schearografie

Das Zeta Shearing-Interferometer (ZSI) verbessert nochmals die Interferenz-Kontrast-Technik durch den Einbau eines speziellen Phasenanpassungsmechanismus kombiniert mit einem fortschrittlichen Algorithmus.

Das Ergebnis ist ein optisches Oberflächen-Messsystem mit einer Auflösung in der Z Ebene im Sub-Angström Bereich.
Die ZSI Technik erfordert weder teure interferometrische Optiken, noch besondere schwingungsisolierte Tische. Darüber hinaus ist kein Z Scanning erforderlich. All dies führt zu einer besseren XY-Auflösung, höheren Benutzerfreundlichkeit, schnelleren und zuverlässigeren Datenerfassung und weniger Anlage- und Wartungskosten.


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Kennziffer: 507
Ansprechpartner:
Thomas Walter

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