Weißlichtprofilometer

Die 3D- Messtechnik von Zeta Instuments ist eine gute Alternative zur Weißlichtinterferometrie bzw. Konfokaltechnik. Bei dem patentierten Z-DOT^TM- Verfahren werden 2D- Bilder aus verschiedenen Lagen zu einem 3D- Bild zusammengesetzt, wobei die laterale Auflösung der Beugungsbegrenzung des gewählten Objektive und die Höhenauflösung der Autofokuspositionierung entspricht. Dadurch kann lateral bis in den sub-µm- Bereicht und vertikal im nm- Bereich gemessen werden.

Zwei große Vorteile dieser Technologie sind zum Einen die hohe Lichttransmission, wodurch schnellere Messzeiten realisiert werden können und gleichzeitig zu einer größeren Schwingungsunabhängigkeit führt. Zum Anderen werden echte Farbbilder aufgenommen, wodurch zusätzliche Informationen gewonnen werden und sich Materialfehler und Dreckpartikel sehr schnell von einander unterscheiden lassen.

Das Messverfahren eignet sich besonders gut für:

 - reflektierende und transparente Materialien

 - raue und glatte Oberflächen

 - Produktionskontrolle von Gräben nach Laserbearbeitung

 - organischen Elektronik  (OLED, OFET, organischen Solarzellen)

 - Vermessung von Kannälen in der Mikrofluidik

 - Waferinspektion bei MEMS und Halbleiterprodukten