Kalibrierstandard

4D Technology hat in Zusammenarbeit mit der PTB und der HALLE Präzisions-Kalibriernormale GmbH einen Tiefenstandard für die vertikale Kalibrierung und Verifikation des 4D InSpec Oberflächenprüfgerätes entwickelt.

Der Standard umfasst Feinnuten mit 1 bis 900 μm Tiefe.

4D verwendet Feinnuten mit 100, 200, 600 und 900 μm Tiefe für die 4D InSpec Kalibrierung. Der Standard besteht aus hochreinem Kupfer mit einer vernickelten Oberfläche (Standardabweichung Ra = 1 nm, Welligkeit Wt = 50 nm, Planheit = 50 nm über 20 mm Messlänge).

Die Feinnuten im unkalibrierten Standard haben Toleranzen in der Z-Achse von etwa 200 nm. Diese Standards werden im Werk mit einem 4D InSpec gemessen, das selbst mit einem zertifizierten Standard kalibriert wurde. Die nominalen Nuttiefen werden bei der Auslieferung vermerkt.